압력 센서를 선택할 때는 압력 센서의 정확도를 고려해야 합니다. 센서 오류를 일으키는 요인은 다양하며, 압력 센서가 피할 수 없는 4가지 오류 유형은 다음과 같습니다.
1. 감도 오류: 오류의 크기는 압력에 비례합니다. 장치의 감도가 일반적인 것보다 높으면 감도 오류는 압력 증가의 함수가 됩니다. 감도가 일반적인 값보다 낮으면 감도 오류는 압력의 감소 함수가 됩니다. 이 오류의 원인은 확산 과정의 변화 때문입니다.
2. 오프셋 오류: 압력 센서는 수직 이동 압력 범위에서 일정하게 유지되므로 레이저 조정 및 변형을 변경하면 오프셋 오류가 발생합니다.
3. 히스테리시스 오류: 대부분의 경우 압력 센서의 히스테리시스 오류는 실리콘 웨이퍼의 기계적 강성이 매우 높기 때문에 무시할 수 있습니다. 일반적으로 압력 변화 시 히스테리시스 오류만 고려해야 합니다.
4. 선형성 오류: 이는 압력 센서의 초기 오류에 영향을 미치는 작은 요소이며 오류는 물리적 비선형 실리콘의 원인이지만 센서 증폭기에는 비선형 증폭기도 포함되어야 합니다. 선형성 오류 곡선은 오목 곡선 또는 볼록 곡선 로드 셀일 수 있습니다.